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多孔陶瓷晶片卡盘 多孔陶瓷晶片卡盘通常用于在晶片被探测(测试)时将晶片固定在适当的位置。大多数晶片是通过在晶片背面施加少量真空来固定的。大多数分析探测系统配备有晶片卡盘。 晶圆卡盘有多种形状、尺寸和材料可供选择。它们通常是圆形的,比晶片尺寸稍大。常见的尺寸范围从直径5
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