产品名称 | 8英寸微孔陶瓷静电卡盘 |
加工精度 | 0.01mm |
是否定制 | 订制 |
粗糙度 | Ra0.8 |
材料成分 | 多孔陶瓷、氧化铝 |
我要定制 | 按客户需求接受定制;欢迎来厂参观! |
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8英寸微孔陶瓷静电卡盘
多孔陶瓷静电卡盘台或抛光卡盘台供应给半导体行业,用于硅片切割或精加工。
本产品为均匀致密的框架,强度高,孔隙率好,吸力持久,品质优良,效率高,无污染,固定精度高。
可用尺寸直径 6 英寸、8 英寸、12 英寸和定制尺寸或具有高平行度和平面度的设计。
提供的服务如下:
■制作新型多孔陶瓷静电卡盘
■修复不平整表面并使多孔卡盘平行化
■用新的多孔陶瓷板翻新无法使用的卡盘
利用多孔陶瓷的特性,可以均匀固定物体(薄膜、电路板、晶片等),而不会出现夹持力不一致的情况。这可以在磁性和非磁性部件的气氛中进行抽吸。
它适用于夹持薄元件,例如薄半导体器件、3D 内存板、薄膜/薄膜、倒装芯片键合机夹持台等。